やや晴れている日だった。
自分の所属する施設に新しく導入されたSEMの講習会に参加。最近はやたらと装置関係の行事が多い。しかもすべて日本電子製。SEMは、コールドFEや、フィラメント型のSEMなどいくつかの種類を使ってきた。コールドFEなどは、分解能を高める代わりに電流が稼げないためEDXの検出が悪く、またその逆にタングステンフィラメント型は電流量が多く、EDX分析に向くが分解能があがらない。フィラメントの構造などに違いがあるのだが、細かいところはよくわからない。今日教えていただいたのはサーマル型で、照射電流を稼ぎつつ、分解能もそれなりに高そうで、汎用性が高そうだ。FE-SEMなどに使われているコントローラーも使えるし、PCですべての操作をすることもできる。かなり親切・多機能設計になっていた。丸一日かけて、オプション的な機能まですべて教えていただいたので、バッチリ使えそうな気がする。