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2010年03月18日(木)

透過電子検出器

よく晴れていて、暖かい日だった。

いつも使っているFE-SEMに透過電子検出器がついていることがわかったので、早速使い方を教えていただいた。一応、STEMと同じようなことができるわけだが、加速電圧が30kVくらいまでしか上がらない。そのため、かなり試料が薄くないと透過しないことになる。逆に、膜に粒子を載せたようなサンプルの場合は、シルエットが見えさえすればいいので、問題はない。使ってみると、かなり分解能はよく、金の微粒子などを50万倍で撮影するなどといったことも可能だった。なんといってもフィルムではなく電子データで記録できるのがよい。ただ、サンプルへのダメージがかなりあり、しばらく同じ視野を見ているだけでだんだんその部分が暗くなるし、試料を見続けると汚染されてダメージ層が形成されてしまう。すばやくピントをあわせる必要がある感じであった。まぁ、回折パターンなどはとれないわけだが。用途としては、TEM試料の下見や、粒子径の算出のためにたくさんの写真が必要な場合に使えそうである。

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