やや晴れている日だった。

自分の所属する施設に新しく導入されたSEMの講習会に参加。最近はやたらと装置関係の行事が多い。しかもすべて日本電子製。SEMは、コールドFEや、フィラメント型のSEMなどいくつかの種類を使ってきた。コールドFEなどは、分解能を高める代わりに電流が稼げないためEDXの検出が悪く、またその逆にタングステンフィラメント型は電流量が多く、EDX分析に向くが分解能があがらない。フィラメントの構造などに違いがあるのだが、細かいところはよくわからない。今日教えていただいたのはサーマル型で、照射電流を稼ぎつつ、分解能もそれなりに高そうで、汎用性が高そうだ。FE-SEMなどに使われているコントローラーも使えるし、PCですべての操作をすることもできる。かなり親切・多機能設計になっていた。丸一日かけて、オプション的な機能まですべて教えていただいたので、バッチリ使えそうな気がする。

曇っており寒い日だった。

朝からTEM観察へ。高分解能観察もできるタイプを教えていただく。ホルダーも2軸でX,Yに傾くので、軸あわせも便利そうである。とはいえ微粒子のため、ちょっと傾けただけで視野から粒子が消えて面倒である。今日で大分わかったが、熟練も必要だし、どのパターンが近いのか、そこから何度傾けるとよいのかなどを頭に入れておく必要があるなと感じた。

夕方からは送別会(追いコン)があった。先輩方にプレゼントを渡したり、ボーリングをしたりした。

よく晴れていて、暖かい日だった。

いつも使っているFE-SEMに透過電子検出器がついていることがわかったので、早速使い方を教えていただいた。一応、STEMと同じようなことができるわけだが、加速電圧が30kVくらいまでしか上がらない。そのため、かなり試料が薄くないと透過しないことになる。逆に、膜に粒子を載せたようなサンプルの場合は、シルエットが見えさえすればいいので、問題はない。使ってみると、かなり分解能はよく、金の微粒子などを50万倍で撮影するなどといったことも可能だった。なんといってもフィルムではなく電子データで記録できるのがよい。ただ、サンプルへのダメージがかなりあり、しばらく同じ視野を見ているだけでだんだんその部分が暗くなるし、試料を見続けると汚染されてダメージ層が形成されてしまう。すばやくピントをあわせる必要がある感じであった。まぁ、回折パターンなどはとれないわけだが。用途としては、TEM試料の下見や、粒子径の算出のためにたくさんの写真が必要な場合に使えそうである。